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1、 极紫外掩模缺陷是指在极紫外光刻技术中使用的掩模版上存在的缺陷总称。
2、比如衬底缺陷、基板缺陷等 。
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极紫外掩模缺陷(关于极紫外掩模缺陷的简介)
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