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1、 与传统的DUV评价函数不同的是。
2、对于EUV评价函数中必须体现散粒噪声现象、掩模三维效应和倾斜入射光效应导致的严重的图形偏移。
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极紫外评价函数(关于极紫外评价函数的简介)
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